国家/地区 US(963) JP(798) WO(491) EP(359) CN(288) DE(268) KR(162) TW(113) AU(103) CA(61) RU(49) GB(44) FR(26) IN(20) SG(18) ES(13) BR(11) NL(9) NO(9) MX(8)
IPC部 G(1777) H(160) A(69)
B(57) C(17) F(10)
E(4) D(1)
IPC大类 G01(1777) G02(327) H01(134)
G03(90) A61(68) G06(47)
H04(25) B81(15) B23(12)
G11(12) G09(11) B29(9)
F16(7) B82(6) C12(6)
IPC小类 G01B(1777) G02B(318) G01N(252)
G01J(217) G01M(165) H01L(107)
G03F(70) A61B(67) G01D(35)
G01L(31) G02F(29) G06F(24)
G01S(23) H01S(21) G01C(20)
IPC G01B009/02(1732) G01B011/24(527) G01B011/02(354)
G01B011/00(185) G01B011/30(149) G01B011/06(104)
G01M011/00(103) G01J003/45(85) G01J009/02(85)
G01N021/45(80) G01M011/02(77) H01L021/027(75)
G03F007/20(63) G01B011/14(59) G01B009/021(48)
发明人 DE GROOT P(31) DE LEGA X C(31) DE GROOT P J(30)
HILL H A(28) UEKI N(21) DECK L L(20)
DOERBAND B(17) KAWASAKI K(17) FREIMANN R(16)
SUZUKI Y(16) DRABAREK P(15) COLONNA D L X(13)
KURIYAMA Y(13) SCHULTE S(13) NAKAYAMA S(12)
公开年 2005(145) 2006(124) 2004(123) 2009(123) 2010(122) 2007(115) 2008(110) 2000(102) 2011(102) 2003(100) 2013(96) 2014(96) 2012(95) 2001(79) 2015(76) 2002(70) 2016(24) 1999(12) 1998(1)
申请年 2003(135)  2002(132)  2004(126)  2007(122)  2008(116)  2005(112)  2009(109)  2011(109)  2006(108)  2010(100)  1999(93)  2013(91)  2012(87)  2001(78)  2000(76)  2014(76)  1998(69)  2015(32)  1997(3)  1996(2) 
专利权人 NIKON CORP(117) ZYGO CORP(114) CANON KK(85) FUJI PHOTO O.(76)
MITUTOYO KK(66) BOSCH GMBH R.(49) ZEISS SMT AG.(41) OLYMPUS OPTI.(34)
MITUTOYO COR.(32) FUJI FILM CO.(21) FUJINON CORP(19) DE GROOT P J(18)
DECK L L(16) CORNING INC(15) DE LEGA X C(15) ZEISS SMT GM.(15)
AGILENT TECH.(14) FUJI FILM CO.(14) HILL H A(14) KLA TENCOR C.(13)